Vakuumpump i 12 års kontinuerlig drift

2017-04-06

Busch vakuumpump COBRA BC når en milstolpe efter tolv års kontinuerlig drift på en fabrik och levde därmed upp till sitt rykte som en robust och pålitlig pump som är lätt att underhålla.

Tolv år av kontinuerlig drift innebär över 18,9 miljarder rotationer på 50 Hz, COBRA BC-enheten i fråga har varit i kontinuerlig drift vid GLOBALFOUNDRIES-produktionsanläggningen i Dresden sedan 2005 och i mitten av januari 2017 nådde den torrgående skruvvakuumpumpen denna enastående milstolpe som den COBRA BC-enhet som har varit längst i drift på anläggningen Fab 1.

Fab 1 i Dresden var först med att tillverka mikrochip med koppartrådar i industriell skala – en teknik som numera utgör grunden för halvledarproduktion globalt.

Totalt 203 st COBRA BC 0100 torrgående skruvvakuumpumpar är monterade vid Dresden-anläggningen, som producerar 300 mm kiselskivor för halvledarindustrin. 31 st av dessa COBRA BC har varit i drift i över 10 år och av dessa har 15 nått milstolpen 100 000 timmar i kontinuerlig drift (över 11 års drift).

COBRA BC vakuumpumpar används i första hand i ”load lock applications” för processerna epitaxi och fysisk ångdeposition (PVD), samt för andra föroreningsfria processer vid hantering av kiselskivor och mätning för att upprätthålla kvaliteten i den litografiska processen.

COBRA BC 0100-modellen är en torrgående skruvvakuumpump ur den beprövade COBRA BC-serien och är en kompakt toppmodern lösning för processer med belastningslåsning och ytterligare processkapacitet för mycket krävande tillämpningar som solcellsplattor, platta skärmar och halvledare. Den har utmärkta pulverhanteringsegenskaper tack vare sin unika skruvpumpsdesign.

COBRA BC-serien är även tillgänglig i en COBRA BC Premium Efficiency-klass, som har en energiförbrukning som är upp till 40 % lägre. Premium Efficiency-klassen är baserad på den beprövade teknikplattformen till COBRA BC.

Busch Vakuumpumpar och system har ett serviceteam i Dresden, som består av nio servicetekniker och en teamledare som arbetar i skift dygnet runt, alla dagar i veckan, vilket gör att de nära 900 installerade vakuumpumparna från Busch har mycket hög tillgänglighet. Dessutom hanterar serviceteamet systemen för avledning av avgaser.

GLOBALFOUNDRIES är ett av de främsta halvledarföretagen i världen och tillverkar på fabriken i Dresden noder på 40 nm till (inom kort) 22 nm. Dresden-fabriken är den största fabriken för produktion av mikrochip i världen.

För mer information kontakta

Busch Vakuumteknik AB
Epost: info@busch.se
Telefon: 031-338 00 80
www.busch.se